隨著社會的發(fā)展，有越來越多的假冒偽劣產(chǎn)品。精密光刻系統(tǒng)主要用于假冒偽劣產(chǎn)品的防偽加工。這對光刻技術(shù)的定位精度提出了極高的要求，直線電機的應用在那些方面呢？

　　傳統(tǒng)的電機加一套變換結(jié)構(gòu)和線性運動驅(qū)動裝置的組成已經(jīng)不能滿足現(xiàn)代控制系統(tǒng)的要求。另一方面，由于直線電機驅(qū)動的位移結(jié)構(gòu)具有普通驅(qū)動結(jié)構(gòu)無法比擬的快速響應能力和精度的優(yōu)點，直線電機驅(qū)動的精密光刻系統(tǒng)得到了廣泛的應用。

　　直線電機相對于傳統(tǒng)電機有以下優(yōu)點：首先，由于直線電機不需要改變附加設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運動，因此系統(tǒng)結(jié)構(gòu)大大簡化，重量和體積大大減少；其次，定位精度高，在需要線性運動時，直線電機可以完成直接傳播，因此可以消除由于定位中間環(huán)節(jié)引起的各種誤差，定位精度高，如采用微機控制，可進一步提高整個系統(tǒng)的定位精度；第三，反應速度快，靈敏度高，隨動性能好。直線電機易受磁懸浮支撐，使動子與定子之間始終存在一定的氣隙，消除了動子與定子之間的接觸摩擦阻力，進一步提高了系統(tǒng)的靈敏度、快速性和隨動性。四、運行安全可靠，使用期限長。直線電機可完成無接觸傳動力，機械摩擦損耗幾乎為零，因而故障少，免維護，因而運行安全可靠，使用期限長。

　　直線電機使用的光柵尺分辨率可達0.1m,不僅提高了光刻速度，同時進一步提高了光刻精度。直線電機由于其結(jié)構(gòu)簡單、反應速度快、靈敏度高、跟蹤好、密封好、不怕污染、適應性強、運行穩(wěn)定可靠、使用期限長等優(yōu)點被廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)中。

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